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機械設計学研究室

実体・レーザー・走査電子顕微鏡microscope

金属顕微鏡 [オリンパス製 PME3]
 省略
 実体顕微鏡 [オリンパス製 SZX12]
 左右光軸平行型ズーム変倍方式
 ズーム比:12.86 (0.7× 〜 9×)
 顕微鏡デジタルカメラ 334万画素(有効画素324万画素)
 走査型レーザ顕微鏡T [オリンパス製 OLS1000]
 制御OS:HP-UNIX,測定データの解析可
 光源:He-Neレーザ(632.8nm)
 高さ方向分解能0.1μm
 走査型レーザ顕微鏡U(共有設備) [オリンパス製 OLS1100]
 制御OS:Windows2000,測定データの解析可
 光源:Arレーザ(488 nm)
 高さ方向分解能0.01μm
 走査型電子顕微鏡(SEM)(共有設備) [日本電子社製 JSM-5310LV]
 加速電圧:0.5kV〜30kV,倍率:15倍〜200,000倍
 分解能:4.0nm(30kV,WD 6mm,二次電子像)
 走査コイル:電磁偏向方式(2段) 
 形態観察から元素分析まで可能